Steuerung basierend auf der Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion eines Parameters

EP3756050 Art B1 3. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3756050
Aktenzeichen: EP19700499
Anmeldetag: 14. Januar 2019
Veröffentlichung: 3. Dezember 2025
Erteilung: 3. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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