Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung

EP3758168 Art A1 30. Dezember 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3758168
Aktenzeichen: EP19182142
Anmeldetag: 25. Juni 2019
Veröffentlichung: 30. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/067H01S3/30G03F1/00G02F1/365// H01S3/00H01S3/094

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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