Willkürlicher Wellenfrontkompensator für Optisches Bildgebungssystem mit Tiefem Uv (duv)
EP3762781
Art B1
9. Juli 2025
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3762781
- Aktenzeichen
- EP19772237
- Anmeldetag
- 26. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2025
- Erteilung
- 9. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/956G01N21/95G01N21/88G02B21/02G02B21/16G02B21/00G03F1/84G03F7/00G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank