System und Verfahren zur Photokathodenbeleuchtungsprüfung

EP3762956 Art A1 13. Januar 2021

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3762956
Aktenzeichen
EP19772102
Anmeldetag
19. März 2019
Veröffentlichung
13. Januar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/073H01J3/02H01J37/28G01J3/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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