Anordnungsbasiertes Charakterisierungswerkzeug

EP3765886 Art A1 20. Januar 2021

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3765886
Aktenzeichen
EP19797080
Anmeldetag
30. April 2019
Veröffentlichung
20. Januar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/00G02B21/36H01J37/153H01J37/147H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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