Metallschutzschicht für Elektronenemitter mit einer Diffusionsbarriere
EP3766092
Art A1
20. Januar 2021
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3766092
- Aktenzeichen
- EP19807145
- Anmeldetag
- 24. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J1/304H01J37/073
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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