Vakuumsystem

EP3767110 Art B1 18. September 2024

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH, Agilent Technologies, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3767110
Aktenzeichen
EP19186289
Anmeldetag
15. Juli 2019
Veröffentlichung
18. September 2024
Erteilung
18. September 2024
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D25/16H01J49/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
PFEIFFER VACUUM GMBH
Agilent Technologies, Inc.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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