Zur Rekonditionierung einer Trägerfläche einer Waferhalteebene Geeigneter Wafer

EP3767308 Art A1 20. Januar 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3767308
Aktenzeichen: EP19186234
Anmeldetag: 15. Juli 2019
Veröffentlichung: 20. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q70/18B29C33/42G01Q70/06B29C33/38H01L21/687// G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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