Lichtquelle und Verfahren zur Verwendung bei Metrologieanwendungen

EP3767375 Art A1 20. Januar 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3767375
Aktenzeichen: EP19187242
Anmeldetag: 19. Juli 2019
Veröffentlichung: 20. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/01G02F1/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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