Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Beitrags von Merkmalen zur Leistung

EP3767392 Art A1 20. Januar 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3767392
Aktenzeichen: EP19186833
Anmeldetag: 17. Juli 2019
Veröffentlichung: 20. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G05B19/418H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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