Schutz eines Zwischenschichtdielektrikums

EP3770972 Art A1 27. Januar 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3770972
Aktenzeichen: EP19187682
Anmeldetag: 22. Juli 2019
Veröffentlichung: 27. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/66H01L21/8234

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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