Fokuseinstellungsverfahren für Geladene Teilchenstrahlvorrichtung und Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

EP3772084 Art B1 15. Dezember 2021

Anmelder: JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3772084
Aktenzeichen: EP20187053
Anmeldetag: 21. Juli 2020
Veröffentlichung: 15. Dezember 2021
Erteilung: 15. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/21H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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