Verfahrenzur Herstellung von Durchgangsverbindungen durch ein Substrat

EP3772746 Art B1 15. Januar 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3772746
Aktenzeichen: EP20189887
Anmeldetag: 6. August 2020
Veröffentlichung: 15. Januar 2025
Erteilung: 15. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L25/065H01L21/288H01L21/768H01L23/538H01L21/48

Abstract

La présente description concerne un procédé de fabrication d'au moins un élément (124) traversant un substrat (322), comprenant une étape d'électrodéposition d'au moins une partie dudit élément dans une ouverture (325) traversant le substrat et sur une portion (316) d'une couche conductrice d'amorçage (315) située sur au moins une partie d'une face (122L) du substrat, ladite portion (316) de couche d'amorçage étant située d'un même côté de l'ouverture (325) que ladite face (122L) du substrat.

Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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