Elektrooptische Leiterplatte zur Kontaktierung von Integrierten Photonischen Schaltungen

EP3775936 Art B1 13. Dezember 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3775936
Aktenzeichen: EP19717459
Anmeldetag: 8. April 2019
Veröffentlichung: 13. Dezember 2023
Erteilung: 13. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01R1/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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