Nanoskalige Ätzung von Lichtabsorbierenden Materialien unter Verwendung von Licht und einem Elektronendonatorlösungsmittel

EP3776080 Art A1 17. Februar 2021

Anmelder: Northeastern University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3776080
Aktenzeichen: EP19722265
Anmeldetag: 28. März 2019
Veröffentlichung: 17. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Northeastern University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northeastern University (Boston)

Northeastern University ist eine private Forschungsuniversität mit Hauptsitz in Boston, USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt um Metallurgie und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen sind seit 2002 belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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