Spaltbare Additive zur Verwendung in einem Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats

EP3776635 Art B1 7. Dezember 2022

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3776635
Aktenzeichen: EP19713512
Anmeldetag: 2. April 2019
Veröffentlichung: 7. Dezember 2022
Erteilung: 7. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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