Atomlagenätzen und Glätten von Refraktären Metallen und Anderen Materialien mit Hoher Oberflächenbindungsenergie

EP3776636 Art B1 7. Mai 2025

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3776636
Aktenzeichen
EP19778362
Anmeldetag
15. März 2019
Veröffentlichung
7. Mai 2025
Erteilung
7. Mai 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H01L21/3213H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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