Mems-Bauteil, Baugruppe mit dem Mems-Bauteil und Verfahren zum Betreiben des Mems-Bauteils

EP3778469 Art B1 22. Februar 2023

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3778469
Aktenzeichen
EP19192135
Anmeldetag
16. August 2019
Veröffentlichung
22. Februar 2023
Erteilung
22. Februar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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