Sputtertargetelement und Verfahren zur Herstellung davon

EP3778984 Art A1 17. Februar 2021

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3778984
Aktenzeichen: EP18911737
Anmeldetag: 15. November 2018
Veröffentlichung: 17. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C22F1/00C22F1/06C22C23/00H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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