Verfahren zur Bereitstellung eines Satzes von Korrekturen für Prozessapparate
EP3779598
Art B1
21. Dezember 2022
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3779598
- Aktenzeichen
- EP20177915
- Anmeldetag
- 4. April 2012
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2022
- Erteilung
- 21. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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