Teilchenoptischer Korrektor Frei von Axialen Fehlern Sechster Ordnung und Elektronenmikroskop mit Korrektor
EP3780064
Art B1
22. Juni 2022
Anmelder: Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3780064
- Aktenzeichen
- EP20186011
- Anmeldetag
- 15. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2022
- Erteilung
- 22. Juni 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland