System und Ätzverfahren zur Herstellung von Elementen einer Photonischen Vorrichtung
EP3780070
Art A1
17. Februar 2021
Anmelder: PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3780070
- Aktenzeichen
- EP19191781
- Anmeldetag
- 14. August 2019
- Veröffentlichung
- 17. Februar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/67G02B5/18B81C1/00H01L21/308H01L31/028// C09K13/08H01L31/18B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PAUL SCHERRER INSTITUT
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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