Quellenmaterial für Dünnschichtbildung für Atomlagenabscheidung und Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht
EP3783130
Art A1
24. Februar 2021
Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3783130
- Aktenzeichen
- EP19788720
- Anmeldetag
- 8. April 2019
- Veröffentlichung
- 24. Februar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C07F3/02C23C16/455H01L21/316C07F17/00C23C16/448
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADEKA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ADEKA Corporation
ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.
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