Beleuchtungs- und Detektionsvorrichtung für eine Metrologische Vorrichtung

EP3783436 Art A1 24. Februar 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3783436
Aktenzeichen: EP19192284
Anmeldetag: 19. August 2019
Veröffentlichung: 24. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01J3/36G01N21/95G01N21/956G02B5/20G02B27/10G02B27/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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