Modensteuerung von Photonischen Kristallfaserbasierten Breitbandigen Lichtquellen

EP3786702 Art A1 3. März 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3786702
Aktenzeichen
EP19194974
Anmeldetag
2. September 2019
Veröffentlichung
3. März 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/365G02B6/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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