Modensteuerung von Photonischen Kristallfaserbasierten Breitbandigen Lichtquellen

EP3786703 Art B1 17. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3786703
Aktenzeichen
EP20191997
Anmeldetag
20. August 2020
Veröffentlichung
17. Mai 2023
Erteilung
17. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/365G02B6/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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