Lichtquellen und Verfahren zur Steuerung, Vorrichtungen und Verfahren zur Verwendung in Messanwendungen

EP3786712 Art A1 3. März 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3786712
Aktenzeichen: EP19193972
Anmeldetag: 28. August 2019
Veröffentlichung: 3. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956H01S3/13H01S3/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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