Kontaktisolierung in Halbleiterbauelementen

EP3787006 Art A1 3. März 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3787006
Aktenzeichen: EP19194719
Anmeldetag: 30. August 2019
Veröffentlichung: 3. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/768H01L21/8238H01L27/06H01L29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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