Elektrolumineszenz-Kartierung von Verunreinigungen in Vorrichtungen mit Halbleitermaterialien

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3789759

Aktenzeichen

EP19306082

Anmeldetag

9. September 2019

Veröffentlichung

23. August 2023

Erteilung

23. August 2023

Rechtsraum

EP

IPC

G01N21/95G01R31/302H02S50/00

Abstract

L'invention concerne une détermination de répartition spatiale de défauts dans un échantillon à matériau semi-conducteur et connecté électriquement à deux bornes au moins, le procédé comportant : - appliquer une tension entre les deux bornes, - acquérir par une caméra une image d'une lumière émise par électroluminescence par l'échantillon, - répéter l'acquisition d'images en faisant varier la tension entre les deux bornes, - mesurer une intensité lumineuse émise par électroluminescence dans des zones des images acquises en fonction de ladite tension appliquée entre les deux bornes, le procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte en outre : - déterminer un modèle de variation d'intensité lumineuse émise par électroluminescence en fonction de ladite tension appliquée, par assimilation à la variation d'un courant généré dans l'échantillon en fonction de la tension appliquée, ledit modèle utilisant au moins un paramètre (Rs*) caractérisant une présence de défauts dans le matériau, - appliquer le modèle aux mesures d'intensité lumineuse et identifier des zones de l'échantillon dans lesquelles le paramètre (Rs*) varie, et - déduire des variations du paramètre (Rs*) une cartographie de défauts dans l'échantillon.

Anmelder

Firmen

Electricité de France
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete