Anordnung zur Bündelung von Breitbandstrahlung

EP3789809 Art B1 14. Januar 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3789809
Aktenzeichen: EP20189296
Anmeldetag: 4. August 2020
Veröffentlichung: 14. Januar 2026
Erteilung: 14. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G01N21/95G02B3/00G02B27/30G02B7/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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