Verfahren zum Bestimmen der Fehlerhaftigkeit eines Musters basierend auf einem Bild nach der Entwicklung

EP3789826 Art A1 10. März 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3789826
Aktenzeichen: EP19195527
Anmeldetag: 5. September 2019
Veröffentlichung: 10. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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