Verfahren zur Erhöhung der Gewissheit in Parametrisierten Modellvorhersagen

EP3789923 Art A1 10. März 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3789923
Aktenzeichen: EP19195954
Anmeldetag: 6. September 2019
Veröffentlichung: 10. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/04G06N3/08G06N7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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