Wafer-Vorausrichter und Verfahren zur Vorausrichtung eines Wafers
EP3790041
Art B1
10. August 2022
Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki, Yaskawa America, Inc., Yaskawa Electric America, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3790041
- Aktenzeichen
- EP20194650
- Anmeldetag
- 4. September 2020
- Veröffentlichung
- 10. August 2022
- Erteilung
- 10. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Yaskawa America, Inc.
Yaskawa Electric America, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Yaskawa Electric
Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.
1.544 Patente in unserer Datenbank