Flüssigkeitskreislauf mit Integrierter Abschwächung von Elektrostatischer Entladung
EP3791100
Art B1
22. November 2023
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3791100
- Aktenzeichen
- EP19799557
- Anmeldetag
- 27. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 22. November 2023
- Erteilung
- 22. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16L9/12F16L9/16F16L47/00F16L11/127H01B1/24F16L25/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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