Anordnung zur Bündelung von Breitbandstrahlung

EP3792673 Art A1 17. März 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3792673
Aktenzeichen: EP19197449
Anmeldetag: 16. September 2019
Veröffentlichung: 17. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/02G02B6/32G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von