Verfahren zur Herstellung eines Reflexionsmaskenrohlings und Verfahren zur Herstellung einer Reflexionsmaske

EP3792692 Art B1 9. Juli 2025

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3792692
Aktenzeichen: EP20194073
Anmeldetag: 2. September 2020
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Erteilung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/42G03F1/84G03F1/38G03F1/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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