Steuerverfahren für Elektronenmikroskop und Elektronenmikroskop

EP3792953 Art B1 29. Dezember 2021

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3792953
Aktenzeichen: EP20195345
Anmeldetag: 9. September 2020
Veröffentlichung: 29. Dezember 2021
Erteilung: 29. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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