Verfahren zur Erfassung eines Dunkelfeldbildes

EP3792954 Art A1 17. März 2021

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3792954
Aktenzeichen: EP20195802
Anmeldetag: 11. September 2020
Veröffentlichung: 17. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/295

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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