Verfahren zum Gravieren einer Schicht auf der Basis eines Iii-V-Materials
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3792958
- Aktenzeichen
- EP20195682
- Anmeldetag
- 11. September 2020
- Veröffentlichung
- 17. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306// H01L21/316
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
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