Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Optisches Element und Reflektierendes Optisches Element

EP3794168 Art A1 24. März 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3794168
Aktenzeichen: EP19725289
Anmeldetag: 8. Mai 2019
Veröffentlichung: 24. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C30B11/00C30B11/02C30B11/14C30B29/06C30B29/08G02C7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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