Verfahren zum Filtern eines Bildes und Zugehörige Messtechnische Vorrichtung

EP3796089 Art A1 24. März 2021

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V., Stichting Nederlandse Wetenschappelijk, Stichting VU, Universiteit van Amsterdam 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3796089
Aktenzeichen: EP19203613
Anmeldetag: 16. Oktober 2019
Veröffentlichung: 24. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML Netherlands B.V.
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk
Stichting VU
Universiteit van Amsterdam
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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