Verfahren zur Bestimmung von Prozessgrenzen eines Halbleiterprozesses

EP3796230 Art B1 9. März 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3796230
Aktenzeichen: EP19197794
Anmeldetag: 17. September 2019
Veröffentlichung: 9. März 2022
Erteilung: 9. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/04G06N3/08G06T7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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