Quaternäre Alkylammonium-Hypochlorit-Lösung, Verfahren zu Ihrer Herstellung und Verfahren zur Reinigung eines Halbleiterwafers

EP3798207 Art A1 31. März 2021

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3798207
Aktenzeichen
EP19807457
Anmeldetag
20. Mai 2019
Veröffentlichung
31. März 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C07C209/68C01B11/06C07C211/63H01L21/304C11D7/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokuyama Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

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