Arbeitstisch und Halter für Musterchips

EP3799105 Art A1 31. März 2021

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3799105
Aktenzeichen: EP20196485
Anmeldetag: 16. September 2020
Veröffentlichung: 31. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/26G02B21/26G02B21/34B01L9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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