Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3800658
- Aktenzeichen
- EP20199549
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2020
- Veröffentlichung
- 31. Mai 2023
- Erteilung
- 31. Mai 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/18// H01L21/04
Abstract
L'invention est relative à un procédé de fabrication d'un dispositif comprenant une couche de carbure de silicium. Ce procédé comprend le report de cette couche en mettant en œuvre deux éléments électronique assemblée par collage. On utilise des couches de tungstène pour l'interface de collage et des couches de barrière de diffusion, en siliciures de tungstène, pour ne pas dégrader le carbure de silicium, en particulier lors d'apports thermiques importants.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
5.940 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Stammsitz in Nizza, zusätzlich in Grenoble, Sophia Antipolis, Paris und mit Vertretung in Monaco. Zugelassen bei INPI, EPA, WIPO und dem monegassischen Patentamt, mit breiter Mandantschaft von Start-ups bis Großkonzernen.
-
Hautier IP
Hautier IP · Nice