Blende zur Anordnung in einer Engstelle eines Euv-Beleuchtungsbündels

EP3803512 Art A1 14. April 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3803512
Aktenzeichen: EP19725155
Anmeldetag: 17. Mai 2019
Veröffentlichung: 14. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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