Verfahren zur Entfernung von Halbleitenden Schichten aus einem Halbleitenden Substrat
EP3803980
Art A1
14. April 2021
Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3803980
- Aktenzeichen
- EP19812070
- Anmeldetag
- 30. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 14. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/78H01L29/78H01L29/786
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Regents of the University of California
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Murgitroyd & Company
Murgitroyd & Company · Glasgow