Verfahren zur Entfernung von Halbleitenden Schichten aus einem Halbleitenden Substrat

EP3803980 Art A1 14. April 2021

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3803980
Aktenzeichen
EP19812070
Anmeldetag
30. Mai 2019
Veröffentlichung
14. April 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78H01L29/78H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Regents of the University of California
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of California

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