Siloxanzusammensetzungen und Verfahren zur Verwendung der Zusammensetzungen zur Abscheidung von Siliziumhaltigen Schichten

EP3807446 Art A1 21. April 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3807446
Aktenzeichen: EP19818631
Anmeldetag: 16. Juni 2019
Veröffentlichung: 21. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/452C23C16/40C23C16/448C23C16/56C23C16/511C23C16/04H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von