Höhensensor mit mehreren Arbeitsabständen unter Verwendung mehrerer Wellenlängen
EP3807589
Art B1
5. November 2025
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3807589
- Aktenzeichen
- EP19853406
- Anmeldetag
- 18. Juli 2019
- Veröffentlichung
- 5. November 2025
- Erteilung
- 5. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06H01J37/20G01B11/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
Kla-Tencor Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank