Chromatischer Konfokaler Flächensensor
EP3807591
Art B1
3. Juli 2024
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3807591
- Aktenzeichen
- EP19842149
- Anmeldetag
- 23. Juli 2019
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2024
- Erteilung
- 3. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/24G01B11/02G02B7/02G02B27/00G02B21/00G01B9/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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